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晶圆划裂AOI查抄机
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晶圆划裂AOI查抄机

晶圆划裂AOI查抄机

晶圆划裂AOI查抄机重要用于晶圆裂片机加工后,用于检测Disco环上芯粒的漏划、离焦、未划开、双晶等较显著的划裂缺点,通过视觉缺点检测,检出有无蕴含以上缺点即可,即分辨出良品和不良品,削减人为,提升检测效能。

项目 机能指标
检测系统

检测领域

(产品尺寸)

4寸料盒尺寸:222mm×215mm×145mmL×W×H
Disco环尺寸:212(L) ×212(W)mmØ194(内圈)、Ø228(表圈)1.2(厚度)mm
沉量:空环 66.5g  ,实沉 86.5g(片沉 20g
6寸料盒尺寸:288mm×279mm×182mmL×W×H
Disco环尺寸:212(L) ×212(W)mmØ194(内圈)、Ø228(表圈)1.2(厚度)mm
沉量:空环 154.5g,实沉 224.5g(片沉 70g
检测项目 漏划、离焦、未划开、双晶
检测精度 3.5um
漏检率 0.01%
过检率 ≤0.5%
产能 ≥4800pcs
机台稼动率 ≥90%
换线功夫 新机种切换功夫:<60 分钟
已有机种切换功夫:<30 分钟
其它参数 安全防护 安全光栅/安全门锁:用于人员安全防护
FFU:用于干净设备内部空间达到千级、百级无尘室
静电:与产品接触材质均为防静电材质,并配有离子风棒,以解除静电
电源供给 AC 220V±10% 50~60Hz
接地 整机接地肆意两点间的电阻<5Ω
离子规格 作业区域离子消散速度<5sec ;离子平衡电压为100V以内
使用环境 温度:5~40℃
湿度:25~85%RH(无冷凝)
机台内部温度 <40℃
正压气源 0.5~0.6MPa,由厂家提供接入端口
负压气源 -80kpa,由厂家提供接入端口

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